問(wèn)答題二氧化硅薄膜在集成電路中具有怎樣的應(yīng)用？
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描述RF濺射系統(tǒng)。
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什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？
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定義刻蝕速率并描述它的計(jì)算公式。為什么希望有高的刻蝕速率？
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描述電子回旋共振（ECR）。
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