最新試題
描述RF濺射系統(tǒng)。
題型:?jiǎn)柎痤}
光學(xué)光刻中影響圖像質(zhì)量的兩個(gè)重要參數(shù)是什么?
題型:?jiǎn)柎痤}
定義刻蝕選擇比。干法刻蝕的選擇比是高還是低?高選擇比意味著什么?
題型:?jiǎn)柎痤}
什么是結(jié)深?
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敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。
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例舉雙大馬士革金屬化過程的10個(gè)步驟。
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解釋掃描投影光刻機(jī)是怎樣工作的?掃描投影光刻機(jī)努力解決什么問題?
題型:?jiǎn)柎痤}
光刻中采用步進(jìn)掃描技術(shù)獲得了什么好處?
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例舉并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點(diǎn)。
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解釋離子束擴(kuò)展和空間電荷中和。
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