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問答題

【簡答題】什么是結(jié)深？

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答案：去除氮化硅使用熱磷酸進(jìn)行濕法化學(xué)剝離掉的。這種酸槽一般始終維持在160℃左右并對露出的氧化硅具有所希望的高選擇比。用熱磷...