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問答題

【簡答題】例舉雙大馬士革金屬化過程的10個步驟。

答案：

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【簡答題】描述RF濺射系統(tǒng)。

答案：

【簡答題】什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？

答案：硅化物是難熔金屬與硅反應(yīng)形成的金屬化合物，是一種具有熱穩(wěn)定性的金屬化合物，并且在硅/難熔金屬的分界面具有低的電阻率。