單項(xiàng)選擇題早期，研究離子注入技術(shù)是用（）來進(jìn)行的。
A.重離子加速器
B.熱擴(kuò)散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器
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1.單項(xiàng)選擇題（）的氣體源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等離子。
A.Cl2
B.BCl3
C.CO2
D.H2
2.單項(xiàng)選擇題離子源產(chǎn)生的離子在（）的加速電場作用下得到加速。
A.分析器
B.掃描器
C.加速器
D.偏轉(zhuǎn)器
3.單項(xiàng)選擇題Torr是指（）的單位。
A.真空度
B.磁場強(qiáng)度
C.體積
D.溫度
4.單項(xiàng)選擇題激光退火目前有（）激光退火兩種。
A.一般和特殊
B.脈沖和連續(xù)
C.高溫和低溫
D.快速和慢速
5.單項(xiàng)選擇題（）就是用功率密度很高的激光束照射半導(dǎo)體表面，使其中離子注入層在極短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到高溫，消除損傷。
A.熱退火
B.激光退火
C.連續(xù)激光退火
D.脈沖激光退火
最新試題
光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。
題型：單項(xiàng)選擇題
刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）
題型：多項(xiàng)選擇題
調(diào)試和維修電路時(shí)排除故障的一般程序和方法是怎樣的？
題型：問答題
當(dāng)需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時(shí)，一般使用（）。
題型：單項(xiàng)選擇題
下列可能造成離子源沾污的因素是（）
題型：多項(xiàng)選擇題
根據(jù)曝光模式，光制機(jī)的種類分為（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）
題型：多項(xiàng)選擇題
說明功能檢測工裝的制作原理？
題型：問答題
（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運(yùn)動(dòng)把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。
題型：單項(xiàng)選擇題
堅(jiān)膜烘焙在加熱平板上進(jìn)行，溫度控制在（）。
題型：單項(xiàng)選擇題