多項選擇題刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）
A.圖形的保真度高
B.選擇比越接近1：1越好
C.均勻性好
D.晶圓表面的潔凈
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1.多項選擇題以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）
A.均勻性好
B.圖形保真度高
C.選擇比低
D.潔凈度高
2.多項選擇題最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）
A.硫酸
B.氫氟酸
C.雙氧水
D.去離子水
3.單項選擇題（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運動把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。
A.離子源
B.磁分析器
C.加速管
D.終端系統(tǒng)
4.單項選擇題利用高溫驅(qū)動雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）
A.擴散爐
B.離子注入機
C.加熱平板
D.對流烘箱
5.單項選擇題電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）
A.電阻絲
B.電子束
C.電子槍
D.石墨
最新試題
影響顯影工藝的因素有（）。
題型：多項選擇題
電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）
題型：單項選擇題
以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）
題型：多項選擇題
解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。
題型：單項選擇題
通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達(dá)到終點的終點檢測方法是（）
題型：單項選擇題
金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）
題型：多項選擇題
（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運動把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。
題型：單項選擇題
刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）
題型：多項選擇題
以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）
題型：多項選擇題
最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）
題型：多項選擇題