單項(xiàng)選擇題Torr是指（）的單位。
A.真空度
B.磁場(chǎng)強(qiáng)度
C.體積
D.溫度
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1.單項(xiàng)選擇題激光退火目前有（）激光退火兩種。
A.一般和特殊
B.脈沖和連續(xù)
C.高溫和低溫
D.快速和慢速
2.單項(xiàng)選擇題（）就是用功率密度很高的激光束照射半導(dǎo)體表面，使其中離子注入層在極短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到高溫，消除損傷。
A.熱退火
B.激光退火
C.連續(xù)激光退火
D.脈沖激光退火
3.單項(xiàng)選擇題目前，最廣泛使用的退火方式是（）。
A.熱退火
B.激光退火
C.電子束退火
D.離子束退火
4.單項(xiàng)選擇題損傷的分布與注入離子在在靶內(nèi)的（）的分布密切相關(guān)。
A.能量淀積
B.動(dòng)量淀積
C.能量振蕩
D.動(dòng)量振蕩
5.多項(xiàng)選擇題哪種方法可以增加缺陷的積累率而降低臨界注入量：（）。
A.低溫注入
B.常溫注入
C.高溫注入
D.分子注入
E.雙注入
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堅(jiān)膜烘焙在加熱平板上進(jìn)行，溫度控制在（）。
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