單項選擇題離子源產(chǎn)生的離子在（）的加速電場作用下得到加速。
A.分析器
B.掃描器
C.加速器
D.偏轉(zhuǎn)器
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1.單項選擇題Torr是指（）的單位。
A.真空度
B.磁場強度
C.體積
D.溫度
2.單項選擇題激光退火目前有（）激光退火兩種。
A.一般和特殊
B.脈沖和連續(xù)
C.高溫和低溫
D.快速和慢速
3.單項選擇題（）就是用功率密度很高的激光束照射半導體表面，使其中離子注入層在極短的時間內(nèi)達到高溫，消除損傷。
A.熱退火
B.激光退火
C.連續(xù)激光退火
D.脈沖激光退火
4.單項選擇題目前，最廣泛使用的退火方式是（）。
A.熱退火
B.激光退火
C.電子束退火
D.離子束退火
5.單項選擇題損傷的分布與注入離子在在靶內(nèi)的（）的分布密切相關(guān)。
A.能量淀積
B.動量淀積
C.能量振蕩
D.動量振蕩
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