A.SiF4
B.SiH4
C.CH4
D.SiC
您可能感興趣的試卷
你可能感興趣的試題
A.丙酮
B.氫氧化鈉溶液
C.丁酮
D.甲乙酮
E.熱的氯化碳?xì)浠衔?/p>
A.紅外線輻射
B.X射線照射
C.加熱
D.紫外光輻射
E.電子束掃描
A.除去光刻膠中剩余的溶劑
B.增強(qiáng)光刻膠對(duì)晶片表面的附著力
C.提高光刻膠的抗刻蝕能力
D.有利于以后的去膠工序
E.減少光刻膠的缺陷
A.負(fù)膠受顯影液的影響比較小
B.正膠受顯影液的影響比較小
C.正膠的曝光區(qū)將會(huì)膨脹變形
D.使用負(fù)膠可以得到更高的分辨率
E.負(fù)膠的曝光區(qū)將會(huì)膨脹變形
A.顯影液的溫度
B.顯影液的濃度
C.顯影液的溶解度
D.顯影液的化學(xué)成分
最新試題
解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有()。
以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是()
傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有()
調(diào)試和維修電路時(shí)排除故障的一般程序和方法是怎樣的?
電子束蒸發(fā)中有一個(gè)特殊的部件是()
鋁的電遷移可能導(dǎo)致的結(jié)果是()
假設(shè)光刻膠的厚度是2000埃,二氧化硅的厚度為4000塊,如果要求經(jīng)過30秒的刻蝕后,厚度變?yōu)?400埃,那么這個(gè)過程中刻蝕速率是()埃/分鐘。
離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中,采用的掃描方式有()
影響顯影工藝的因素有()。
分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù),在檢驗(yàn)時(shí)發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時(shí),判斷其造成原因有()