調(diào)試和維修電路時排除故障的一般程序和方法是怎樣的？

回態(tài)源擴散的雜質(zhì)源有（）

當需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時，一般使用（）。

以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）

電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）

影響顯影工藝的因素有（）。

試說明ICT測試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點？