多項選擇題分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗時發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時，判斷其造成原因有（）

A.快速熱退火及升溫速度和保持時間是否準(zhǔn)確
B.檢查是否有溝道效應(yīng)
C.檢查注入能量系統(tǒng)
D.檢查注入速度和時間是否準(zhǔn)確


您可能感興趣的試卷

你可能感興趣的試題

1.多項選擇題以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）

A.劑量與束流密度
B.射程與注入能量
C.注入角度
D.晶圓

2.多項選擇題下列可能造成離子源沾污的因素是（）

A.離子源是否被沾污
B.真空系統(tǒng)是否漏氣
C.原材料是否滿足純度要求
D.光刻膠的堿性元素沾污

3.多項選擇題離子注入機掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

A.靜電掃描
B.機械掃描
C.混合掃描
D.平行掃描

4.多項選擇題傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

A.反刻法
B.高溫回流法
C.旋涂玻璃法
D.化學(xué)機械拋光法

5.多項選擇題金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

A.直流濺射
B.射頻濺射
C.磁控濺射
D.準(zhǔn)直濺射