多項選擇題凈化室里廢氣收集管系統(tǒng)分為兩類，分別是（）。

A.一般排氣系統(tǒng)
B.特殊排氣系統(tǒng)
C.制程排氣系統(tǒng)
D.專用排氣系統(tǒng)
E.排氣排水系統(tǒng)


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1.多項選擇題靜電釋放帶來的問題有哪些（）。

A.金屬電遷移
B.金屬尖刺現(xiàn)象
C.芯片產(chǎn)生超過1A的峰值電流
D.柵氧化層擊穿
E.吸引帶電顆?；驑O化并吸引中性顆粒到硅片表面

2.單項選擇題由靜電釋放產(chǎn)生的電流泄放最大電壓可以達(dá)（）。

A.幾伏
B.幾十伏
C.幾百伏
D.幾萬伏

3.單項選擇題ESD產(chǎn)生（）種不同的靜電總類。

A.1
B.4
C.3
D.2

4.單項選擇題靜電釋放的英文簡述為（）。

A.ESC
B.SED
C.ESD
D.SEM

5.單項選擇題危害半導(dǎo)體工藝的典型金屬雜質(zhì)是（）。

A.2族金屬
B.堿金屬
C.合金金屬
D.稀有金屬