多項(xiàng)選擇題靜電釋放帶來(lái)的問(wèn)題有哪些()。
A.金屬電遷移
B.金屬尖刺現(xiàn)象
C.芯片產(chǎn)生超過(guò)1A的峰值電流
D.柵氧化層擊穿
E.吸引帶電顆?;驑O化并吸引中性顆粒到硅片表面
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1.單項(xiàng)選擇題由靜電釋放產(chǎn)生的電流泄放最大電壓可以達(dá)()。
A.幾伏
B.幾十伏
C.幾百伏
D.幾萬(wàn)伏
2.單項(xiàng)選擇題ESD產(chǎn)生()種不同的靜電總類。
A.1
B.4
C.3
D.2
3.單項(xiàng)選擇題靜電釋放的英文簡(jiǎn)述為()。
A.ESC
B.SED
C.ESD
D.SEM
4.單項(xiàng)選擇題危害半導(dǎo)體工藝的典型金屬雜質(zhì)是()。
A.2族金屬
B.堿金屬
C.合金金屬
D.稀有金屬
5.單項(xiàng)選擇題懸浮在空氣中的顆粒稱為()。
A.懸浮物
B.塵埃
C.污染顆粒
D.浮質(zhì)
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