單項選擇題引出系統(tǒng)要求能引出分散性較好的強束流，還希望具有較（）的氣阻。
A.無序
B.穩(wěn)定
C.小
D.大
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1.單項選擇題離子源的作用是使所需要的雜質(zhì)原子電離成（）離子，并通過一個引出系統(tǒng)形成離子束。
A.正
B.負
C.中性
D.以上答案都可以
2.單項選擇題在各種離子源常用的放電方式中，EOS是指有（）。
A.電子振蕩放電
B.離子自動放電
C.低電壓弧光放電
D.雙等離子電弧放電
3.多項選擇題離子注入的主要氣體源中，劇毒的有（）。
A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷
4.單項選擇題離子注入裝置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系統(tǒng)等。
A.中子源
B.離子源
C.電子源
D.質(zhì)子源
5.單項選擇題早期，研究離子注入技術(shù)是用（）來進行的。
A.重離子加速器
B.熱擴散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器
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