單項(xiàng)選擇題在各種離子源常用的放電方式中，EOS是指有（）。

A.電子振蕩放電
B.離子自動(dòng)放電
C.低電壓弧光放電
D.雙等離子電弧放電


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1.多項(xiàng)選擇題離子注入的主要?dú)怏w源中，劇毒的有（）。

A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷

2.單項(xiàng)選擇題離子注入裝置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系統(tǒng)等。

A.中子源
B.離子源
C.電子源
D.質(zhì)子源

3.單項(xiàng)選擇題早期，研究離子注入技術(shù)是用（）來(lái)進(jìn)行的。

A.重離子加速器
B.熱擴(kuò)散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器

5.單項(xiàng)選擇題離子源產(chǎn)生的離子在（）的加速電場(chǎng)作用下得到加速。

A.分析器
B.掃描器
C.加速器
D.偏轉(zhuǎn)器