多項選擇題在深紫外曝光中，需要使用CA光刻膠，它的優(yōu)點在于（）。

A.CA光刻膠對深紫外光吸收小
B.CA光刻膠將吸收的光子能量發(fā)生化學轉(zhuǎn)化
C.CA光刻膠在顯影液中的可溶性強
D.有較高的光敏度
E.有較高的對比度


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1.單項選擇題在深紫外曝光中，需要使用（）光刻膠。

A.DQN
B.CA
C.ARC
D.PMMA

2.單項選擇題在深紫外曝光中，需要使用CA光刻膠，CA的含義是（）。

A.化學增強
B.化學減弱
C.厚度增加
D.厚度減少

3.多項選擇題關(guān)于正膠和負膠的特點，下列說法正確的是（）。

A.正膠在顯影時不會發(fā)生膨脹，因此分辨率高于負膠
B.正膠的感光區(qū)域在顯影時不溶解，負膠的感光區(qū)域在顯影時溶解
C.負膠在顯影時不會發(fā)生膨脹，因此分辨率不會降低
D.正膠的感光區(qū)域在顯影時易溶解，負膠的感光區(qū)域在顯影時難溶解
E.負膠在顯影時會發(fā)生膨脹，導致了分辨率的降低

4.多項選擇題關(guān)于正膠和負膠在顯影時的特點，下列說法正確的是（）。

A.負膠的感光區(qū)域溶解
B.正膠的感光區(qū)域溶解
C.負膠的感光區(qū)域不溶解
D.正膠的感光區(qū)域不溶解
E.負膠的非感光區(qū)域溶解

5.多項選擇題光刻膠主要由（）等不同材料混合而成的。

A.樹脂
B.感光劑
C.HMDS
D.溶劑
E.PMMA