刻蝕氮化硅薄膜時，可以用加熱的磷酸進行刻蝕，此時的溫度一般設置在（）

兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點，又有可接受的選擇比的刻蝕方法是（）。

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

試說明ICT測試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點？

通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應用于（）

傳統(tǒng)的平坦化技術有（）

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

一般情況下，刻蝕完成后需要進行的操作是（）

刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）