通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應(yīng)用于（）

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進(jìn)光刻機(jī)上，那么i線的UV光波長為（）

當(dāng)需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時，一般使用（）。

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗(yàn)時發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時，判斷其造成原因有（）

影響顯影工藝的因素有（）。

下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）

解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）