高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

敘述測試晶體管的方法？

當(dāng)需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時，一般使用（）。

以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）

電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）

解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

堅膜烘焙在加熱平板上進行，溫度控制在（）。