問答題工藝文件的電子文檔化要注意哪些問題？怎樣才能保證工藝文件的電子文檔是安全可靠的？
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敘述測試晶體管的方法？
題型：問答題
在顯影過程中，對于正性抗蝕劑，顯影液的使用要求是（）。
題型：單項選擇題
刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）
題型：多項選擇題
通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達(dá)到終點的終點檢測方法是（）
題型：單項選擇題
離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）
題型：多項選擇題
兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點，又有可接受的選擇比的刻蝕方法是（）。
題型：單項選擇題
根據(jù)曝光模式，光制機(jī)的種類分為（）。
題型：多項選擇題
回態(tài)源擴(kuò)散的雜質(zhì)源有（）
題型：多項選擇題
電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）
題型：單項選擇題
下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）
題型：多項選擇題