解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。

（）可以通過帶電粒子在盛場(chǎng)作用下做運(yùn)動(dòng)把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

影響顯影工藝的因素有（）。

兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點(diǎn)，又有可接受的選擇比的刻蝕方法是（）。

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗(yàn)時(shí)發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時(shí)，判斷其造成原因有（）

說明功能檢測(cè)工裝的制作原理？

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達(dá)到終點(diǎn)的終點(diǎn)檢測(cè)方法是（）

電子束蒸發(fā)中有一個(gè)特殊的部件是（）

下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）