當需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時，一般使用（）。

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內的成分來判斷是否達到終點的終點檢測方法是（）

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

試說明ICT測試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點？

環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設定于（）。

鋁的電遷移可能導致的結果是（）

解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。

通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應用于（）

電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）