調(diào)試和維修電路時(shí)排除故障的一般程序和方法是怎樣的？

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設(shè)定于（）。

利用高溫驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）

鋁的電遷移可能導(dǎo)致的結(jié)果是（）

（）可以通過帶電粒子在盛場(chǎng)作用下做運(yùn)動(dòng)把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

試說明ICT測(cè)試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點(diǎn)？

傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗(yàn)時(shí)發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時(shí)，判斷其造成原因有（）

下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）