傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

說明功能檢測工裝的制作原理？

解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進(jìn)光刻機(jī)上，那么i線的UV光波長為（）

堅(jiān)膜烘焙在加熱平板上進(jìn)行，溫度控制在（）。

兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點(diǎn)，又有可接受的選擇比的刻蝕方法是（）。

環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設(shè)定于（）。

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達(dá)到終點(diǎn)的終點(diǎn)檢測方法是（）

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）