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單項(xiàng)選擇題
環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性,通常將環(huán)境溫度設(shè)定于()。
A.20℃
B.23℃
C.25℃
D.28℃
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單項(xiàng)選擇題
光刻膠對人部分可見光敏感,但對()光不敏感。
A.黃
B.紅
C.紫
D.藍(lán)
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單項(xiàng)選擇題
高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進(jìn)光刻機(jī)上,那么i線的UV光波長為()
A.416nm
B.405nm
C.365nm
D.740nm
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