當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

目前制備SOI材料的主流技術有幾種？（）

消除鳥嘴效應的方法有（）。

光刻工藝的特點包括（）。

化學機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物？（）