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多項選擇題
鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有()。
A.有效柵寬變窄
B.電流減少
C.電容增加
D.電阻增大
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多項選擇題
消除鳥嘴效應(yīng)的方法有()。
A.選擇合適的掩蔽膜
B.在氧化前,將窗口處的硅腐蝕掉深度,再進行局部氧化
C.退火
D.高壓氧化工藝
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單項選擇題
濕氧氧化采用的氧化水溫是()。
A.95度
B.90度
C.80度
D.75度
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