多項選擇題金屬化中可選用的金屬材料有（）。
A.銀
B.金
C.鋁
D.銅
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1.單項選擇題進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。
A.銅
B.鋁
C.鎢
D.金
2.單項選擇題化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）
A.還原劑
B.分散劑
C.腐蝕介質(zhì)
D.磨料
3.多項選擇題CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。
A.臺板
B.拋光液
C.拋光墊
D.夾持設(shè)備
4.多項選擇題新的平坦化方法有哪幾個？（）
A.固結(jié)磨料CMP技術(shù)
B.無磨粒CMP技術(shù)
C.無應(yīng)力拋光技術(shù)
D.電化學(xué)機(jī)械平坦化技術(shù)
5.多項選擇題光刻工藝對準(zhǔn)誤差包括（）。
A.上下偏移
B.X或Y方向的平移
C.轉(zhuǎn)動
D.套準(zhǔn)誤差