單項選擇題在靶片前方設一抑制柵，作用是將（）抑制回去，從而保證測量的準確性。
A.二次電子
B.二次中子
C.二次質(zhì)子
D.無序離子
您可能感興趣的試卷
你可能感興趣的試題
1.單項選擇題一般用（）測量注入的劑量。
A.劑量分布儀
B.劑量統(tǒng)計儀
C.電荷分析儀
D.電荷積分儀
2.單項選擇題在實際工作中，常常需要知道離子注入層內(nèi)損傷量按（）的分布情況。
A.長度
B.深度
C.寬度
D.表面平整度
3.單項選擇題降低靶的溫度，有利于非晶層的形成，所以臨界注入量隨之（）。
A.增大
B.減小
C.不變
D.變?yōu)?
4.單項選擇題晶體中，每個原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置時其勢能為（）。
A.極大值
B.極小值
C.既不極大也不極小
D.小于動能
5.單項選擇題離子源腔體中的氣體放電形成（）而引出正離子的。
A.等離子體
B.不等離子體
C.正離子體
D.液電流
最新試題
敘述測試晶體管的方法？
題型：問答題
高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）
題型：單項選擇題
利用高溫驅(qū)動雜質(zhì)滲透進半導體內(nèi)，此工序采用的設備是（）
題型：單項選擇題
調(diào)試和維修電路時排除故障的一般程序和方法是怎樣的？
題型：問答題
分結深是重要的結構參數(shù)，在檢驗時發(fā)現(xiàn)超淺結注入時，判斷其造成原因有（）
題型：多項選擇題
下列哪些是進行光刻前的預處理的步驟？（）
題型：多項選擇題
在顯影過程中，對于正性抗蝕劑，顯影液的使用要求是（）。
題型：單項選擇題
（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運動把粒子進行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。
題型：單項選擇題
電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）
題型：單項選擇題
傳統(tǒng)的平坦化技術有（）
題型：多項選擇題