單項選擇題

一般用（）測量注入的劑量。

A.劑量分布儀
B.劑量統(tǒng)計儀
C.電荷分析儀
D.電荷積分儀

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單項選擇題

在實際工作中，常常需要知道離子注入層內損傷量按（）的分布情況。

A.長度
B.深度
C.寬度
D.表面平整度

單項選擇題

降低靶的溫度，有利于非晶層的形成，所以臨界注入量隨之（）。

A.增大
B.減小
C.不變
D.變?yōu)?

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