什么是摻雜？例舉四種常用的摻雜雜質(zhì)并說明它們是n型還是p型？

例出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

光學(xué)光刻中影響圖像質(zhì)量的兩個重要參數(shù)是什么？

例舉離子注入設(shè)備的5個主要子系統(tǒng)。

光刻中采用步進(jìn)掃描技術(shù)獲得了什么好處？

什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？

例舉出兩種光刻膠顯影方法。例舉出7種光刻膠顯影參數(shù)。

干法刻蝕的目的是什么？例舉干法刻蝕同濕法刻蝕相比具有的優(yōu)點。干法刻蝕的不足之處是什么？

定義刻蝕速率并描述它的計算公式。為什么希望有高的刻蝕速率？

描述化學(xué)機(jī)械平坦化工藝。