問(wèn)答題什么叫集成電路？寫(xiě)出集成電路發(fā)展的五個(gè)時(shí)代及晶體管的數(shù)量？
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例出光刻的8個(gè)步驟，并對(duì)每一步做出簡(jiǎn)要解釋。
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例舉出兩種光刻膠顯影方法。例舉出7種光刻膠顯影參數(shù)。
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刻蝕工藝有哪兩種類(lèi)型？簡(jiǎn)單描述各類(lèi)刻蝕工藝。
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描述化學(xué)機(jī)械平坦化工藝。
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描述曝光波長(zhǎng)和圖像分辨率之間的關(guān)系。
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