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問答題

【簡答題】描述曝光波長和圖像分辨率之間的關系。

答案：減少曝光光源的波長對提高分辨率非常重要，波長的越小，圖像的分辨率就越高，圖像就越精確。

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【簡答題】例舉并描出旋轉涂膠的4個基本步驟。

答案： 1.分滴，當硅片靜止或者旋轉得非常緩慢時，光刻膠被分滴在硅片上
2.旋轉鋪開，快速加速硅片的旋轉到一高的轉速使...

【簡答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么？

答案：

一、將掩膜版圖案轉移到硅片表面頂層的光刻膠中
二、在后續(xù)工藝中，保護下面的材料

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