單項(xiàng)選擇題下列哪些元素在硅中是快擴(kuò)散元素:()。

A.Na
B.B
C.P
D.As


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1.單項(xiàng)選擇題He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的擴(kuò)散率大于10-13cm2/s,這些元素稱為()。

A.活躍雜質(zhì)
B.快速擴(kuò)散雜質(zhì)
C.有害雜質(zhì)
D.擴(kuò)散雜質(zhì)

2.單項(xiàng)選擇題如果磷在二氧化硅中擴(kuò)散,對(duì)擴(kuò)散率影響最大的因素是:()。

A.擴(kuò)散劑總量
B.壓強(qiáng)
C.溫度
D.濃度

3.單項(xiàng)選擇題用電容-電壓技術(shù)來(lái)測(cè)量擴(kuò)散剖面分布是用了()的原理。

A.pn結(jié)理論
B.歐姆定律
C.庫(kù)侖定律
D.四探針技術(shù)

4.單項(xiàng)選擇題在確定擴(kuò)散率的實(shí)驗(yàn)中,擴(kuò)散層電阻的測(cè)量可以用()測(cè)量。

A.SIMS技術(shù)
B.擴(kuò)展電阻技術(shù)
C.微分電導(dǎo)率技術(shù)
D.四探針技術(shù)