單項(xiàng)選擇題He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的擴(kuò)散率大于10-13cm2/s,這些元素稱為()。
A.活躍雜質(zhì)
B.快速擴(kuò)散雜質(zhì)
C.有害雜質(zhì)
D.擴(kuò)散雜質(zhì)
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1.單項(xiàng)選擇題如果磷在二氧化硅中擴(kuò)散,對(duì)擴(kuò)散率影響最大的因素是:()。
A.擴(kuò)散劑總量
B.壓強(qiáng)
C.溫度
D.濃度
2.單項(xiàng)選擇題用電容-電壓技術(shù)來(lái)測(cè)量擴(kuò)散剖面分布是用了()的原理。
A.pn結(jié)理論
B.歐姆定律
C.庫(kù)侖定律
D.四探針技術(shù)
3.單項(xiàng)選擇題在確定擴(kuò)散率的實(shí)驗(yàn)中,擴(kuò)散層電阻的測(cè)量可以用()測(cè)量。
A.SIMS技術(shù)
B.擴(kuò)展電阻技術(shù)
C.微分電導(dǎo)率技術(shù)
D.四探針技術(shù)
4.單項(xiàng)選擇題在確定擴(kuò)散率的測(cè)結(jié)深實(shí)驗(yàn)中,結(jié)深的測(cè)量是采用HF和()的混和液對(duì)磨斜角進(jìn)行化學(xué)染色的。
A.乙醇
B.HCL
C.H2SO4
D.HNO3
5.單項(xiàng)選擇題我們可以通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)深測(cè)量和()測(cè)量來(lái)獲得擴(kuò)散層的重要信息。
A.橫向電阻
B.平均電阻率
C.薄層電阻
D.擴(kuò)展電阻
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離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中,采用的掃描方式有()
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()可以通過(guò)帶電粒子在盛場(chǎng)作用下做運(yùn)動(dòng)把粒子進(jìn)行篩選,挑選出唯一需要注入的離子。
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題型:?jiǎn)柎痤}
環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性,通常將環(huán)境溫度設(shè)定于()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題