單項(xiàng)選擇題在空位擴(kuò)散中,如果遷移到空位的原子是基質(zhì)原子,擴(kuò)散屬于()。
A.推擠擴(kuò)散
B.雜質(zhì)擴(kuò)散
C.填隙擴(kuò)散
D.自擴(kuò)散
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1.單項(xiàng)選擇題固體中的擴(kuò)散模型主要有填隙機(jī)制和()。
A.自擴(kuò)散機(jī)制
B.雜質(zhì)擴(kuò)散機(jī)制
C.空位機(jī)制
D.菲克擴(kuò)散方程機(jī)制
2.單項(xiàng)選擇題對于濃度覆蓋很寬的雜質(zhì)原子,可以采用()方法引入到硅片中。
A.離子注入
B.濺射
C.淀積
D.擴(kuò)散
3.單項(xiàng)選擇題擴(kuò)散工藝現(xiàn)在廣泛應(yīng)用于制作()。
A.晶振
B.電容
C.電感
D.PN結(jié)
4.多項(xiàng)選擇題擴(kuò)散工藝在現(xiàn)在集成電路工藝中仍然是是一項(xiàng)重要的集成電路工藝,現(xiàn)在主要被用來制作()。
A.埋層
B.外延
C.PN結(jié)
D.擴(kuò)散電阻
E.隔離區(qū)
5.多項(xiàng)選擇題擴(kuò)散工藝使雜質(zhì)由半導(dǎo)體晶片表面向內(nèi)部擴(kuò)散,改變了晶片(),所以晶片才能被人們所使用。
A.內(nèi)部的雜質(zhì)分布
B.表面的雜質(zhì)分布
C.整個晶體的雜質(zhì)分布
D.內(nèi)部的導(dǎo)電類型
E.表面的導(dǎo)電類型
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分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù),在檢驗(yàn)時發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時,判斷其造成原因有()
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