金屬化中可選用的金屬材料有（）。

CMP的設備構成包括（）。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

光刻工藝的特點包括（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關？（）

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

消除鳥嘴效應的方法有（）。

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質原子？（）

碳納米管場效應晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。