多項選擇題下面哪些元素屬于半徑較小的雜質原子？（）
A.Cu
B.P
C.Ag
D.Au
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1.多項選擇題鳥嘴效應造成的不良影響有（）。
A.有效柵寬變窄
B.電流減少
C.電容增加
D.電阻增大
2.多項選擇題消除鳥嘴效應的方法有（）。
A.選擇合適的掩蔽膜
B.在氧化前，將窗口處的硅腐蝕掉深度，再進行局部氧化
C.退火
D.高壓氧化工藝
3.單項選擇題濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。
A.95度
B.90度
C.80度
D.75度
4.單項選擇題硅暴露在空氣中，在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層，厚度約為（）。
A.30nm
B.10nm
C.20nm
D.25nm
5.單項選擇題下面哪個選項不是集成電路工藝用化學氣體質量的指標？（）
A.金屬離
B.微粒
C.純度
D.濃度
最新試題
下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）
題型：單項選擇題
化學機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）
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三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。
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碳納米管場效應晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。
題型：判斷題
下面哪個選項不是集成電路工藝用化學氣體質量的指標？（）
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當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。
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刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。
題型：多項選擇題
硅暴露在空氣中，在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層，厚度約為（）。
題型：單項選擇題