(1)晶核形成,成束的穩(wěn)定小晶核形成 (2)聚集成束,也稱為島生長 (3)形成連續(xù)的膜
(1)對材料具有高的選擇比 (2)不會對器件帶來等離子體損傷 (3)設(shè)備簡單
最新試題
進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是()。
進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是()。
IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是()。
消除鳥嘴效應(yīng)的方法有()。
芯片粘接的工藝過程包括()。
封裝工藝中,銀漿固化的溫度為()。
三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。
下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子?()
刻蝕過程中聚合物形成的來源有()。
金屬化中可選用的金屬材料有()。