鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

如下哪個(gè)選項(xiàng)不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物？（）

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

常壓的硅外延方法有（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無關(guān)？（）

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

摻雜后退火時(shí)間一般在（）。