A.光刻膠B.Si襯底C.刻蝕氣體中的碳和其它物質(zhì)組成的化合物D.刻蝕溶液
A.實現(xiàn)電激活B.修復(fù)損傷C.提高摻雜均勻性D.加大損傷
A.四氯化硅氫還原法B.三氯氫硅氫還原法C.二氯氫硅烷法D.硅烷熱分解法