傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應(yīng)用于（）

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）

試說明ICT測試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點(diǎn)？

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗時發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時，判斷其造成原因有（）

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達(dá)到終點(diǎn)的終點(diǎn)檢測方法是（）

兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點(diǎn)，又有可接受的選擇比的刻蝕方法是（）。