電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）

解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。

在顯影過程中，對于正性抗蝕劑，顯影液的使用要求是（）。

離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進(jìn)光刻機(jī)上，那么i線的UV光波長為（）

調(diào)試和維修電路時排除故障的一般程序和方法是怎樣的？

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點(diǎn)，又有可接受的選擇比的刻蝕方法是（）。