下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

光刻工藝的特點(diǎn)包括（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

厚膜電阻的成分，一是導(dǎo)體顆粒，二是（）。

刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項(xiàng)？（）

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。