單項選擇題在熱擴散工藝中的預淀積步驟中，硼在900～1050℃的條件下，擴散時間大約（）為宜。
A.4～6h
B.50min～2h
C.10～40min
D.5～10min
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1.單項選擇題在熱擴散工藝中的預淀積步驟中，磷的擴散溫度為（）。
A.600～750℃
B.900～1050℃
C.1100～1250℃
D.950～1100℃
2.單項選擇題在熱擴散工藝中的預淀積步驟中，砷和銻的擴散溫度為（）。
A.1050～1200℃
B.900～1050℃
C.1100～1250℃
D.1200～1350℃
3.單項選擇題擴散爐中的管道一般都是用（）制作。
A.陶瓷
B.玻璃
C.石英
D.金屬
4.多項選擇題下列可作為磷擴散源的是（）。
A.磷鈣玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.摻磷二氧化硅乳膠源
5.多項選擇題下列擴散雜質源中，（）不僅是硅常用的施主雜質，也是鍺常用的施主雜質。
A.硼
B.錫
C.銻
D.磷
E.砷
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假設光刻膠的厚度是2000埃，二氧化硅的厚度為4000塊，如果要求經(jīng)過30秒的刻蝕后，厚度變?yōu)?400埃，那么這個過程中刻蝕速率是（）埃/分鐘。
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