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擴散爐中的管道一般都是用()制作。
A.陶瓷
B.玻璃
C.石英
D.金屬
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多項選擇題
下列可作為磷擴散源的是()。
A.磷鈣玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.摻磷二氧化硅乳膠源
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多項選擇題
下列擴散雜質(zhì)源中,()不僅是硅常用的施主雜質(zhì),也是鍺常用的施主雜質(zhì)。
A.硼
B.錫
C.銻
D.磷
E.砷
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