單項(xiàng)選擇題將預(yù)先制好的掩膜直接和涂有光致抗蝕劑的晶片表面接觸,再用紫外光照射來進(jìn)行曝光的方法,稱為()曝光。

A.接觸
B.接近式
C.投影


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