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A.等離子去膠
B.溶劑去膠
C.氧化去膠
D.三氯乙烯去膠

A.接觸式光刻機
B.步進掃描光刻機
C.分布重復光刻機
D.接近式光刻機

A.局部氧化隔離
B.PN結隔離
C.PN結-介質(zhì)隔離
D.淺槽隔離

A.浸潤
B.成核
C.BULK
D.直接反應

A.金屬Al
B.金屬鈦
C.金屬氮化鈦
D.金屬鎢

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源

A.1
B.2
C.3
D.4

A.SiH₄
B.O₂
C.N₂O
D.Ar

A.兆聲清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）
B.兆聲清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）
C.Brush（刷洗）-兆聲清洗（Meg）-SRD（甩干）
D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆聲清洗（Meg）

A.靜電掃描
B.機械掃描
C.靜電掃描與機械掃描結合