鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

厚膜電阻的成分，一是導體顆粒，二是（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

光刻工藝的特點包括（）。

IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是（）。

光刻工藝對準誤差包括（）。