問答題列出4種曝光技術(shù)，并說明那種分辨率最高，說明各種曝光技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。
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進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是（）。
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刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。
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下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）
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摻雜后，退火的目的是（）。
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